CDM интегралды қалыңдығы мен аумақтық тығыздық өлшегіші

Қолданбалар

Қаптау процесі: электродтың кішігірім ерекшеліктерін онлайн анықтау; электродтың жалпы кішігірім ерекшеліктері: мерекелік аштық (ток коллекторының ағып кетуі жоқ, қалыпты жабын аймағымен шағын сұр айырмашылық, CCD сәйкестендірудің сәтсіздігі), сызат, жұқарған аймақтың қалыңдығы контуры, AT9 қалыңдығын анықтау және т.б.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Өлшеу принциптері

Беттік тығыздықты өлшеу принциптері

Рентген/β-сәулелерін жұту әдісі

Қалыңдықты өлшеу принциптері

Корреляция және лазерлік триангуляция

CDM техникалық сынақ сипаттамалары

1-сценарий: Электрод бетінде ені 2 мм демалыс/тапшылық бар және бір шеті қалыңырақ (төменде көрсетілгендей көк сызық). Сәуле нүктесі 40 мм болғанда, өлшенген бастапқы деректер пішінінің әсері (төменде көрсетілгендей қызғылт сары сызық) азырақ көрінеді.

2-сценарий: динамикалық жіңішкеру аймағының профиль деректері деректер ені 0,1 мм

Бағдарламалық қамтамасыз ету мүмкіндіктері

Техникалық параметрлер

Аты	Көрсеткіштер
Сканерлеу жылдамдығы	0-18м/мин
Сынама алу жиілігі	Беттік тығыздық: 200 кГц; қалыңдығы: 50 кГц
Беттік тығыздықты өлшеу диапазоны	Бетінің тығыздығы: 10~1000 г/м²; қалыңдығы: 0~3000 мкм;
Өлшеуді қайталау дәлдік	Бетінің тығыздығы: 16s интегралы: ±2σ: ≤±шын мән * 0,2‰ немесе ±0,06г/м²; ±3σ:≤±шын мән * 0,25‰ немесе +0,08г/м²; 4s интегралы: ±2σ: ≤±шын мән * 0,4‰ немесе ±0,12г/м²; ±3σ: ≤±шын мән * 0,6‰ немесе ±0,18г/м²;Қалыңдығы: 10 мм аймақ:±3σ: ≤±0,3μm; 1 мм аймақ: ±3σ: ≤±0,5μm; 0,1 мм аймақ: ±3σ: ≤±0,8мкм;
Корреляция R2	Бетінің тығыздығы >99%; қалыңдығы >98%;
Лазерлік нүкте	25*1400мкм
Радиациялық қорғаныс класы	GB 18871-2002 ұлттық қауіпсіздік стандарты (радиациядан босату)
Радиоактивті заттардың қызмет ету мерзімі көзі	β-сәуле: 10,7 жыл (Kr85 жартылай шығарылу кезеңі); Рентгенограмма: > 5 жыл
Өлшеудің жауап беру уақыты	Бетінің тығыздығы < 1мс; қалыңдығы < 0,1 мс;
Жалпы қуат	<3кВт